带您详细解析温控探针冷热台各部件的主要作用

　　温控探针冷热台是为液晶研究而设计的，为了给样品施加电场或测量样品的信号，在常规设备的基础上增加了内部电极，并配有液晶池和专用送样器。同时由于热台腔室的密闭性，可以控制腔室内的环境氛围，如湿度、真空或通入内部气体，并可将热台与红外及X射线衍射设备联用。它主要应用于矿物中流体包裹体及熔融包裹体，另可用于观察各类型材料。冷热台可在-190℃~600℃范围内控温，允许光学观察和样品气体环境控制。

 

　　温控探针冷热台采用自适应PID算法，实现了高精度温度定点控制以及高水平的温度跟随功能，可使微型平台快速温度均衡。

 

　　温控探针冷热台各部件的作用：

　　1、样品台：是定位晶圆或芯片的部件设备。通常会依据晶圆的尺寸来设计大小，并配套了相应的精细挪动定位功用。

　　2、光学元件：这个部件的作用使得用户可以从视觉上缩小察看待测物，以便准确地将探针对准并放置在待测晶圆/芯片的测量点上。有的采用平面变焦显微镜，有的采用数码相机，或许两者兼有。

　　3、操纵器：探针台运用操纵器将探针放置在被测物上，它可以很容易地定位探针并疾速固定它们。通常运用磁铁或真空把它们固定在适当的地位。一旦固定，操纵器可以在X、Y和Z方向上精确定位探针，并且在某些状况下提供旋转运动。

　　4、探针：主要分普通DC测试探针、同轴DC测试探针、有源探针和微波探针等。它的尺寸和资料取决于被探测样品的尺寸和所需测量类型决定的。其针尖直接接触被测样品，针臂应与针尖配合使用。

　　5、射频探针：射频探针的实质为适配器，将芯片测量接口转为同轴或波导端口。罕见的射频探针有GSG型、GS型、GSSG型等。射频探针的主要参数有高工作频率、探针针尖距等。目前，同轴接口的射频探针频率可达110GHz波导接口的射频探针频率高达1.1THz。

　　6、网络分析仪：虽然传统网络分析仪也能无效地测量有源器件，例如放大器、混频器和转换器，但它们不能提供以后研发和消费工程师所盼望的精度、易用性和速度。